行业动态2026.06.04
AI算力驱动存储与先进封装热潮,薄膜沉积设备迎来黄金窗口期
一、先进封装催生TGV镀膜新需求,真空镀膜设备卡位3D集成核心环节随着台积电及国内封测厂加速推进玻璃中介板落地,TGV玻璃通孔作为2.5D/3D封装主流方案,其通孔内壁高深宽比金属化镀膜成为量产关键工艺。国产厂商自研TGV专用溅射镀膜设备,采用HiPIMS高功率脉冲磁控溅射技术解决深孔侧壁镀膜不均难题,打破海外垄断,上游金属化镀膜设备迎来国产替代采购窗口期。二、AI存储扩产拉动CVD/WF₆需求,
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